형식 ISP-90
설계배기속도 L/min 108
도달압력 Pa{Torr} 5{3.8X10-2}
전동기출력 kW 0.15
전압 V 단상 100,115/200,230
삼상 없음
소음치 dB(A) 52(at Air Flush)
질량 kW 단상 14
삼상 없음
수증기처리량 g/day 5(at Air Flush)
에어플러쉬량 L/min 7(at Air Flush)
외형치수 mm(LxWxH) 단상 308x214x225
삼상 없음
흡기구경 NW25
배기구경 NW16
냉각방식 공냉


형식 ISP-250C ISP-500C
설계배기속도 L/m 300 600
도달압력 Pa{Torr} 1.6{1.2x10-2} 1.0{7.5x10-3}
전동기출력 kW 0.4 0.6
전압 V 단상 100,115,/200,230
삼상 200,208,230/380,415,460
소음치 dB(A)   58(at Air Flush) 60(at Air Flush)
질량 kW 단상 25 44
삼상 23 38
수증기처리량 g/day 25(at Air Flush)
에어플래쉬량 L/min   10(at Air Flush)
외형치수 mm(LxWxH) 단상 400x252x336 443x328x372
삼상 370x252x336 372x328x372
흡기구경 NW25 NW25
배기구경 NW16 NW16
냉각방식 공냉 공냉
 
형식 DVSL-100C
설계배기속도 L/min 120
도달압력 Pa 50
전동기출력 kW 0.3
전압 V 단상 100,115/200,230
소음치 dB(A) 62(at Air Flush)
질량 kW 15
수증기처리량 g/day 100
에어플러쉬량 L/min 5
외형치수 mm(LxWxH) 358x210x215
흡기구경 NW25
배기구경 NW16
냉각방식 공냉


형식 DVSL-500C DVSL-501C
(불소고무씰 사양)
설계배기속도 L/min 520
도달압력 Pa 30 100
전동기출력 kW 1.1
전압 V 삼상 200, 208, 230 / 380, 415, 460
소음치 dB(A) 64 (at Air Flush)
질량 kW 36
수증기처리량 g/day 250
에어플래쉬량 L/min 10
외형치수 mm(LxWxH) 491x317x280
흡기구경 NW25
배기구경 NW25
냉각방식 공냉 공냉
 
ISP 시리즈
오일프리스크롤 진공펌프 ISP-50 (PDF형식 491KB)
오일프리스크롤 진공펌프 ISP시리즈 (PDF형식 1.49KB)


GVS 시리즈
오일프리스크롤 진공펌프 GVS시리즈 (PDF형식 767KB)

DVSL 시리즈
오일프리스크롤 진공펌프 DVSL시리즈 (PDF형식 1.2KB)


 
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